发明名称 |
内存元件及其制造方法与操作方法 |
摘要 |
一种内存元件,包括基底、多个导体层、复合介电层与多个栅极。其中,多个导体层是设置于基底上,上述这些导体层是作为局部位线。复合介电层是设置于基底上,覆盖住导体层,复合介电层中包括了一层电荷陷入层。栅极设置于复合介电层上,横跨导体层。其中,导体层可以作为局部位线,以降低电阻值,增进内存元件的效能。 |
申请公布号 |
CN100464423C |
申请公布日期 |
2009.02.25 |
申请号 |
CN200610090299.X |
申请日期 |
2006.07.13 |
申请人 |
旺宏电子股份有限公司 |
发明人 |
刘承杰;熊黛良 |
分类号 |
H01L27/115(2006.01);H01L23/522(2006.01);H01L21/8247(2006.01);H01L21/768(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/115(2006.01) |
代理机构 |
北京连和连知识产权代理有限公司 |
代理人 |
薛平 |
主权项 |
1.一种内存元件,其特征在于,包括:基底;多个导体层,设置于该基底上,上述这些导体层是作为局部位线;复合介电层,设置于该基底上,覆盖住上述这些导体层,该复合介电层中包括电荷陷入层;以及多个栅极,设置于该复合介电层上,横跨上述这些导体层。 |
地址 |
台湾省新竹市新竹科学工业园区力行路16号 |