发明名称 |
腔室内衬及反应腔室 |
摘要 |
本发明公开了一种腔室内衬及反应腔室,包括外层内衬和里层内衬,外层内衬与里层内衬之间留有间隙,里层内衬上开有多个通孔,外层内衬上开有与反应腔室外部相通的进气口,里层内衬上开有与反应腔室外部相通的排气口。工艺气体可以通过进气口进入外层内衬与里层内衬之间的间隙,再由里层内衬上的多个通孔进入反应腔室内部,对工艺气体起到一定的缓冲作用,既能起到保护反应腔室的侧壁的作用,又能起到提高反应腔室内等离子体的均匀性的作用。 |
申请公布号 |
CN101373702A |
申请公布日期 |
2009.02.25 |
申请号 |
CN200710120745.1 |
申请日期 |
2007.08.24 |
申请人 |
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
发明人 |
管长乐 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01);H01L21/205(2006.01);H01L21/3065(2006.01);H01L21/316(2006.01);H01L21/67(2006.01);C23C16/44(2006.01);C23F4/00(2006.01);H05H1/00(2006.01);H01J37/32(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
北京凯特来知识产权代理有限公司 |
代理人 |
赵镇勇 |
主权项 |
1.一种腔室内衬,其特征在于,包括外层内衬和里层内衬,外层内衬与里层内衬之间留有间隙,所述里层内衬上开有多个通孔,所述外层内衬上开有进气口,所述里层内衬上开有排气口。 |
地址 |
100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 |