发明名称 发光半导体元件的制造方法
摘要 本发明涉及一种用于制作发光半导体元件的方法,这种元件的半导体本体由一个若干不同的Ⅲ-Ⅴ族-氮化物-半导体层(1)的层叠构成并具有第一个主面(3)和第二个主面(4),其中,产生的辐射的至少一部分通过该第一主面输出,且该第二主面具有一个反射器,其特征为,这些Ⅲ-Ⅴ族-氮化物-各层被设置在一个复合衬底上,该复合衬底具有一个衬底本体和一层夹层,其中,该衬底本体的热膨胀系数相似于或最好大于Ⅲ-Ⅴ族-氮化物-各层的热膨胀系数,且Ⅲ-Ⅴ族-氮化物-各层淀积在该夹层上。
申请公布号 CN100464438C 申请公布日期 2009.02.25
申请号 CN200610136532.3 申请日期 2001.03.16
申请人 奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司 发明人 S·巴德尔;B·哈恩;V·海勒;H·-J·卢高尔;M·蒙德布罗德-范格罗;D·埃塞尔特
分类号 H01L33/00(2006.01) 主分类号 H01L33/00(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 蔡民军;胡强
主权项 1.用于制作发光半导体元件的方法,这种元件的半导体本体由一个若干不同的III-V族-氮化物-半导体层(1)的层叠构成并具有第一个主面(3)和第二个主面(4),其中,产生的辐射的至少一部分通过该第一主面输出,且该第二主面具有一个反射器,其特征为,将这些III-V族-氮化物-半导体层设置在一个复合衬底上,该复合衬底具有一个衬底本体和一层夹层,其中,该衬底本体的热膨胀系数相似于或大于III-V族-氮化物-半导体层的热膨胀系数,且III-V族-氮化物-半导体层淀积在该夹层上,该夹层通过晶片压焊方法压焊到该衬底本体上。
地址 德国雷根斯堡