| 发明名称 |
Lithographischer Apparat und Methode zur Herstellung einer Vorrichtung |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE602004011724(T2) |
申请公布日期 |
2009.02.19 |
| 申请号 |
DE200460011724T |
申请日期 |
2004.11.03 |
| 申请人 |
ASML NETHERLANDS B.V. |
发明人 |
TEGENBOSCH, HENRICUS GERARDUS |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/68;H02K41/02;H02K41/03 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
