光束变换元件、光学照明装置、曝光装置、以及曝光方法

摘要

本发明提供一种光学照明装置，不仅能有效地抑制光量损失，且能够形成圆周方向偏光状态的轮胎状的照明瞳分布。本发明的光学照明装置具有光束变换元件(50)，可依据入射光束而在所定面形成轮胎状的光强度分布。该光束变换元件用有旋光性的光学材料形成，且由依入射光束形成轮胎状光强度分布中的第一圆弧状区域分布的第一基本元件(50A)、形成第二圆弧状区域分布的第二基本元件(50B)、形成第三圆弧状区域分布的第三基本元件(50C)，以及形成第四圆弧状区域分布的第四基本元件(50D)所构成。各基本元件在沿光束的透过方向的厚度互异。

主权项

1.一种光学照明装置，利用來自光源的光束以照明一配置于被照射面的掩膜，其特徵在于，该该光学照明装置包括：第一基本元件，由有旋光性的光学材料制成，使到达在所述光学照明装置的照明瞳或其近傍形成的照明瞳分布之中的第一区域分布的第一光束通过；以及第二基本元件，由有旋光性的光学材料制成，使到达在所述光学照明装置的照明瞳或其近傍形成的照明瞳分布之中的第二区域分布的第二光束通过；其中，该第一基本元件与该第二基本元件，在沿光的透过方向的厚度互异。