| 发明名称 | 磁性退火工具热交换系统及处理工艺 | ||
| 摘要 | 提供用于磁性退火工具的热交换系统和处理。系统包括：装入待处理工件的处理室；元件室，所述元件室部分地围绕处理室的周边，至少一个用于抽真空的装置，所述装置与处理室和分开与元件室成流体连通，以便将真空施加到处理室和元件室的二者其中之一或二者上，因此促进工件的辐射加热；至少一个流体源，所述流体源与处理室和分开地与元件室成流动连通，以便供应冷却气体，因此促进工件的传导冷却；冷却室，所述冷却室设置成围绕元件室；和用于产生磁场的装置，所述装置设置在冷却室的外周边上。 | ||
| 申请公布号 | CN101371331A | 申请公布日期 | 2009.02.18 |
| 申请号 | CN200680052409.1 | 申请日期 | 2006.11.15 |
| 申请人 | 普莱克斯技术有限公司 | 发明人 | R·J·吉布;J·F·比林翰姆;E·杜菲;N·奥肖内西;K·麦马洪;P·费里斯 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 赵华伟 |
| 主权项 | 1.一种用于磁性退火工具的热交换系统，包括：(a)处理室，所述处理室装入待处理的工件；(b)元件室，所述元件室至少部分地包围工件，元件室包括一个或多个电阻加热元件；(c)用于抽真空的装置，该装置与元件室成流体连通，以便将真空施加到元件室，从而减少了元件室内的气体传导；(d)一个或多个与元件室成流体连通的气源和一个将上述气体引入元件室以便增加元件室内的气体传导的装置；(e)冷却室，所述冷却室设置成至少部分地围绕元件室；和(f)用于产生磁场的装置，所述装置设置在冷却室的外周边上。 | ||
| 地址 | 美国康涅狄格州 | ||