发明名称 |
石英表面化学粗糙处理方法 |
摘要 |
一种石英表面化学粗糙处理方法,它解决了现有技术存在的对石英表面处理容易造成损伤、影响石英产品的尺寸精度等缺陷,该方法是将石英产品表面火抛光后,在常温、常压下浸入盛有处理液的容器内反应,反应两小时后取出,用去离子水洗净石英产品表面的附着物后,再次浸入处理液中重复上述反应,直至石英产品的表面粗糙度R<SUB>a</SUB>=1.5μm~4.5μm。该处理工艺流程设计合理,设备简单,操作容易,得到的石英产品表面粗糙度均匀,而且不受其形状影响。在参与CVD反应过程中,可以有效减少石英表面沉积膜的龟裂和脱落,从而降低了对反应腔的污染的可能性,明显提高产品成品率和加工效率,进而延长石英产品的使用寿命,省时、降耗,降低了生产成本。 |
申请公布号 |
CN101367618A |
申请公布日期 |
2009.02.18 |
申请号 |
CN200810013316.9 |
申请日期 |
2008.09.23 |
申请人 |
沈阳汉科半导体材料有限公司 |
发明人 |
米山 |
分类号 |
C03C15/00(2006.01);C03C19/00(2006.01) |
主分类号 |
C03C15/00(2006.01) |
代理机构 |
沈阳科威专利代理有限责任公司 |
代理人 |
刁佩德 |
主权项 |
1.一种石英表面化学粗糙处理方法,其特征在于:将石英产品表面进行火抛光后,在常温、常压下浸入盛有处理液的容器内反应,反应两小时后取出,用去离子水洗净所述石英产品表面的附着物,洗净后再次浸入所述处理液中重复上述反应,直至所述石英产品表面粗糙度均匀,呈不透明状态,使处理后的表面粗糙度Ra=1.5μm~4.Sμm;所述处理液的制备步骤如下:先选用溶液浓度为40%的分析纯氢氟酸和溶液浓度为99%的固体分析纯氟化铵混合,然后加入溶液浓度为99.5%的分析纯乙酸配置成处理液备用;所述处理液中所用原料质量比为:氢氟酸∶氟化铵∶乙酸=(2-6)∶(4-7)∶(8-11);所述处理液的用量以完全侵没所述石英产品为宜。 |
地址 |
110141辽宁省沈阳市沈阳经济技术开发区昆明湖街20号 |