| 发明名称 |
THIN FILM METHOD FOR MANUFACTURING CAPACITOR-TYPE THIN-FILM ABSOLUTE-PRESSURE SENSOR, RESISTOR-TYPE THIN-FILM ABSOLUTE-PRESSURE SENSOR AND CAPACITOR -TYPE ABSOLUTE PRESSURE SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0783776(A) |
申请公布日期 |
1995.03.31 |
| 申请号 |
JP19940194288 |
申请日期 |
1994.08.18 |
| 申请人 |
ENDRESS & HAUSER GMBH & CO |
发明人 |
MASOUDO HABIBI;ERUNSUTO RIYUUDAA;TORAUGOTSUTO KARUFUASU;FURANKU HEEGUNAA;GEORUKU SHIYUNAIDAA |
| 分类号 |
G01L7/00;G01L9/00;G01L9/04;G01L9/12;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/12 |
主分类号 |
G01L7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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