黄铜矿型薄膜太阳能电池的制造方法

摘要

提供一种黄铜矿型薄膜太阳能电池的制造方法，其电极层和由黄铜矿类化合物组成的光吸收层之间的密着性良好，即使形成碱层的碱金属含有液的浓度较高，此积层结构也稳定，且外观上不会出现问题。本发明的方法，由如下工序组成：第一工序，其是在Mo电极层(2)上形成通过溅射法而层叠了In金属层和Cu-Ga合金层的前驱物质；向前驱物质附着碱金属含有液的第二工序、对经过第一及第二两个工序后的衬底(1)进行硒化处理的硒化工序；成膜光透过性的导电层的透明电极形成工序。作为碱金属含有液，可以使用四硼酸钠、硫化钠、硫酸钠铝等碱金属化合物的水溶液。

主权项

1.一种黄铜矿型薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，包括：在形成于衬底上的背面电极层上形成以In、Cu及Ga金属元素为含有成分的前驱物质的第一工序；将碱金属含有液附着于该前驱物质的第二工序；在硒化氢气体气氛中对经过该第一及第二两个工序的衬底进行热处理的硒化工序；使光透过性的导电层成膜的透明电极形成工序，所述第一工序包括：形成In金属层的第一溅射成膜工序；和形成Cu-Ga合金层的第二溅射成膜工序。