大行程纳米位移定位宏动台锁定控制方法及系统

摘要

本发明涉及一种大行程纳米位移定位宏动台锁定控制方法及系统。本方法的操作步骤是：(1)计算机(上位机)的通讯界面发出指令进行控制，首先使宏定位系统工作，带动宏、微两级工作台一起运动，当检测到的定位误差小于切换阈值时，完成宏定位；(2)通过计算机控制锁定宏动工作台，同时动态切换到微定位系统；(3)由微定位系统控制微动工作台进而达到系统要求的目标位置，完成定位。本系统主要包括：宏、微二级工作台及其相应的驱动系统；光栅反馈系统；PMAC控制器；激光干涉仪标定系统；计算机系统；以及隔振消除噪声装置(气浮隔振平台)等。在现有系统上，根据需求，采用本发明提供的方法，对现有系统硬件结构进行配置(压电陶瓷驱动装置)，当宏动台达到定位要求停止运动时，通过压电陶瓷对其进行锁定，从而提高系统的定位精度。

主权项

1.一种大行程纳米位移定位宏动台锁定控制方法。其特征在于具体操作步骤如下：a.上位机的通讯界面发出指令进行控制，首先使宏定位系统工作，对宏动工作台实现宏定位；b.通过上位机控制锁定宏动工作台，同时动态切换到微定位系统；c.由微定位系统控制微动工作台进行微位移补偿进而达到系统要求的目标位置，完成定位。