一种多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型属于一种多晶硅铸锭炉，采用炉体固定在支架上，炉盖位于炉体下端，启闭开合炉盖的炉盖提升装置位于支架上，该炉盖提升装置的丝杆下端与炉盖轴接，炉盖上设坩埚支架，坩埚支架内设坩埚，隔热体架与坩埚支架上端扣合，隔热体架提升机构位于炉体上端面，隔热体架提升机构的丝杆下端密封穿过炉体与隔热体架上端连接，各电器元件置在炉体上端面。本实用新型克服现有设备的不足，能有效保护操作人员的安全，提高了生产多晶硅铸锭的速度和质量，延长了设备使用寿命。

主权项

1.一种多晶硅铸锭炉，主要由炉体、炉盖、气路控制仪和支架所组成，其特征在于：炉体固定在支架上，炉盖位于炉体下端，启闭炉盖的炉盖提升装置位于支架上，该炉盖提升装置的丝杆下端与炉盖轴接，炉盖上设坩埚支架，坩埚支架内设坩埚，隔热体架与坩埚支架上端扣合，隔热体架提升机构位于炉体上端面，隔热体架提升机构的丝杆下端密封穿过炉体与隔热体架上端连接，各电器元件置在炉体上端面。