发明名称 一种单晶硅炉
摘要 本实用新型属于一种单晶硅炉,采用在炉体设备管道上设有快速拆装装置,所述的重锤由下段、中段和上段所组成,下段内底部设有卡头接口,上段头端内设有贯通的卡接槽,卡接槽顶部至重锤顶端的中轴线上设有软轴穿孔。本实用新型克服了现有设备的不足,使设备管道清理时能快速拆装,简化了操作程序,改进重锤结构,增加硅籽晶的稳定性,大幅度提高了产品的正品率。
申请公布号 CN201195769Y 申请公布日期 2009.02.18
申请号 CN200820080659.2 申请日期 2008.05.15
申请人 北京京运通科技有限公司 发明人 张志新;王军;安桂正
分类号 C30B29/06(2006.01);C30B15/00(2006.01) 主分类号 C30B29/06(2006.01)
代理机构 北京汇泽知识产权代理有限公司 代理人 闫立德
主权项 1.一种单晶硅炉,主要由炉体、位于炉体上端的副室、位于副室上端的提升机构、及受提升机构带动穿过副室的钢丝吊绳和位于钢丝吊绳头端在炉体内上下运动的重锤所组成,其特征在于:在炉体设备管道上设有快速拆装装置,所述的重锤由下段、中段和上段所组成,下段内底部设有卡头接口,上段头端内设有贯通的卡接槽,卡接槽顶部至重锤顶端的中轴线上设有软轴穿孔。
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