一种沉积炉管

摘要

本发明提供一种沉积炉管，包括外管，内管，气体反应腔，气体注入器以及用于承载晶圆的晶舟，所述气体反应腔形成于内管内，晶舟置入气体反应腔内，所述气体注入器包括岐管及装设于岐管上的复数喷嘴，岐管上形成有复数安装通孔，安装通孔上设有一缺槽；所述喷嘴对应所述缺槽的位置处形成有一凸台，所述凸台收容于所述缺槽内，如此设计的气体注入器使得喷嘴在岐管内的位置相对固定，输入反应腔的气体依预设浓度分布，化学反应后沉积在晶圆上的薄膜层厚度分布均匀，提高了产品的良率。

主权项

1.一种沉积炉管，其结构包括外管，内管，气体反应腔，气体注入器以及用于承载晶圆的晶舟，所述气体反应腔形成于内管内，所述晶舟置入气体反应腔内，所述气体注入器可将半导体制程所需的气体输送至气体反应腔内，其特征在于：所述气体注入器包括岐管及装设于岐管上的复数喷嘴，岐管上形成有复数用于安装所述喷嘴的安装通孔，且在所述岐管内壁上开设有与所述安装通孔相连的预定深度的缺槽，所述碰嘴对应所述缺槽于外表面上形成有凸台，所述凸台收容于所述缺槽内。