发明名称 A ROTATABLE SPUTTER TARGET
摘要
申请公布号 EP2024530(A1) 申请公布日期 2009.02.18
申请号 EP20070729693 申请日期 2007.05.31
申请人 BEKAERT ADVANCED COATINGS 发明人 DE BOSSCHER, WILMERT
分类号 C23C14/35;C23C14/00;C23C14/34;H01J37/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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