大口径大相对孔径非球面镜中高频误差检测装置与方法

摘要

本发明公开了一种大口径大相对孔径非球面镜中高频误差检测装置与方法，装置包括由干涉仪调焦平台、位于干涉仪调焦平台前方的偏摆反射镜偏摆平台、位于偏摆反射镜偏摆平台下方的被测非球面镜三维运动调整平台构成的五轴运动调整平台，以及装设于相应平台上的激光波面干涉仪、偏摆反射镜、被测非球面镜的多点支撑机构，以及与激光波面干涉仪连接的内装检测数据处理算法程序的主控计算机。利用该装置通过主控计算机按照检测数据处理算法可将检测得到的多幅部分区域的误差面形图拼接成全口径上包含中高频段的误差面形图，包括初始位姿确定方法、重叠区域数据提取算法以及区域数据拼接算法。本发明是一种低成本、高精度、高效率的大口径大相对孔径非球面镜中高频误差检测装置与方法。

主权项

1.一种大口径大相对孔径非球面镜中高频误差检测装置，其特征在于：包括由干涉仪调焦平台、位于干涉仪调焦平台前方的偏摆反射镜偏摆平台、位于偏摆反射镜偏摆平台下方的被测非球面镜三维运动调整平台构成的五轴运动调整平台，以及装设于相应平台上的激光波面干涉仪、偏摆反射镜、被测非球面镜的多点支撑机构，以及与激光波面干涉仪连接的内装检测数据处理算法程序的主控计算机。