研磨垫之制造方法

摘要

本发明之目的系于提供一种制造研磨垫之方法，该研磨垫可防止研磨浆漏出，且光学检测精度优异者。本发明之研磨垫之制造方法包含有以下步骤，即：在研磨层之研磨背面侧形成用以注入透光区形成材料之凹槽；藉于前述凹槽注入透光区形成材料，使其固化，形成透光区；及，藉对研磨层之研磨表面侧进行抛光，使前述透光区裸露于研磨表面。