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发明名称 GETTERING MEMBER, METHOD OF FORMING THE GETTERING MEMBER AND METHOD OF PERFORMING IMMERSION LITHOGRAPHY PROCESS USING THE GETTERING MEMBER
摘要
申请公布号 KR100883636(B1) 申请公布日期 2009.02.16
申请号 KR20070058563 申请日期 2007.06.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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