旋涂机，其温度控制方法，光碟生产设备及光碟生产方法

摘要

本发明提供一旋涂机，其包含：一旋转台，其可旋转地固持住该碟片基材；一旋杯，包围住被固持在该旋转台上之碟片基材的外圆周；一滴落单元，架构以将一可紫外线固化树脂组成物滴至该碟片基材的表面；一旋转单元，架构以经由该旋转台旋转该碟片基材，以将该可紫外线固化树脂组成物散布于整个碟片基材表面上；一加热单元，架构以加热在该碟片基材上之该可紫外线固化树脂组成物；及一温度控制单元，架构以控制该旋杯的到达温度，在经过多个旋涂程序上保持恒定，该温度系每当该可紫外线固化树脂组成物被散布时，为加热单元所增加。