| 摘要 |
本发明提供一种可简便进行稳定之测定的光学测定装置、及基板保持装置。本实施形态之光学测定装置系使用穿透过试料的穿透光来进行测定的光学测定装置，其特征为具备：载置台12，系载置试料50之端部；吸附台18，系在试料50的下侧设置成可朝Y方向移动，并且具有用来吸附试料之吸附口；照明光源41，系设在吸附台18，并且对前述试料从下侧射出照明光；测定头22，系在试料50的上侧接受从照明光源41穿透过试料的穿透光；复数个支持构件16，系设在试料50的下侧，并且在载置台12之内侧支持试料50；以及抵接部48，系设在吸附台18，并藉由与支持构件16之抵接，使一部分之支持构件16的上端从试料50离开。 |
