在薄膜太阳能电池制造过程中控制基板温度的方法及设备

摘要

本发明实施例提供在薄膜太阳能电池制造过程中控制基板温度的方法及设备。在一实施例中提供一种在基材上形成薄膜太阳能电池的方法。该方法包括在第一腔室中于基板上执行一温度稳定化制程，以预热基材一段基板稳定化时间；计算第二腔室的等待时间，其中该等待时间是依据该第二腔室的可用率、用以将基板从第一腔室传送至第二腔室之真空传送机械手的可用率，或该第二腔室与该真空传送机械手两者可用率的结合所计算而得；以及，调整该温度稳定化时间，以补偿在该等待时间过程中基板损失的热量。