发明名称 |
电浆电子温度之测定方法及装置 |
摘要 |
将使氦气之准安定状态的原子被激励的波长之雷射光,照射于所产生之电浆,而使准安定状态之原子被激励,并取得代表雷射光之吸收量的吸收量资讯,而根据吸收量资讯,来计算出在电浆中之氦气的准安定状态之原子的密度。进而,对在电浆中之从氦气的相异之2个的激励状态起的下位准位迁移过程所分别导致之各发光作计测,并求取出各发光之发光强度比。而后,根据所计算出之氦气的准安定状态之原子的密度、和发光强度比,而计算出所产生之电浆的电子温度。藉由此,能够不依存于电浆气体环境之条件,而以较高之精确度来计算出电浆之电子温度。 |
申请公布号 |
TW200908814 |
申请公布日期 |
2009.02.16 |
申请号 |
TW097111416 |
申请日期 |
2008.03.28 |
申请人 |
三井造船股份有限公司 MITSUI ENGINEERING & |
发明人 |
泷泽一树 |
分类号 |
H05H1/00(2006.01);H01L21/205(2006.01);H01L21/3065(2006.01) |
主分类号 |
H05H1/00(2006.01) |
代理机构 |
|
代理人 |
林志刚 |
主权项 |
|
地址 |
日本 |