发明名称 电浆电子温度之测定方法及装置
摘要 将使氦气之准安定状态的原子被激励的波长之雷射光,照射于所产生之电浆,而使准安定状态之原子被激励,并取得代表雷射光之吸收量的吸收量资讯,而根据吸收量资讯,来计算出在电浆中之氦气的准安定状态之原子的密度。进而,对在电浆中之从氦气的相异之2个的激励状态起的下位准位迁移过程所分别导致之各发光作计测,并求取出各发光之发光强度比。而后,根据所计算出之氦气的准安定状态之原子的密度、和发光强度比,而计算出所产生之电浆的电子温度。藉由此,能够不依存于电浆气体环境之条件,而以较高之精确度来计算出电浆之电子温度。
申请公布号 TW200908814 申请公布日期 2009.02.16
申请号 TW097111416 申请日期 2008.03.28
申请人 三井造船股份有限公司 MITSUI ENGINEERING & 发明人 泷泽一树
分类号 H05H1/00(2006.01);H01L21/205(2006.01);H01L21/3065(2006.01) 主分类号 H05H1/00(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本