发明名称 |
元件搬运装置、电子元件测试装置、以及元件搬运装置之最适距离的认识方法 |
摘要 |
元件搬运装置(310)包括:吸附头(320),系吸附保持IC元件;真空压力感测器(330),系检测吸附头(320)有无吸附IC元件;致动器(318a),系使吸附头(320)移动;以及控制装置(340),系控制吸附头(320)的移动动作;控制装置(340)根据真空压力感测器(330)的检测结果控制致动器(318a),而致动器(318a)使吸附头(320)移动,或者将开始移动位置(A)和移动后之吸附头(320)的位置之间的距离设定为最佳距离。 |
申请公布号 |
TW200908194 |
申请公布日期 |
2009.02.16 |
申请号 |
TW097113468 |
申请日期 |
2008.04.14 |
申请人 |
阿德潘铁斯特股份有限公司 |
发明人 |
伊藤明彦;须田明 AKIHISA SUDA |
分类号 |
H01L21/677(2006.01);H01L21/66(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/677(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 |
主权项 |
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地址 |
日本 |