发明名称 元件搬运装置、电子元件测试装置、以及元件搬运装置之最适距离的认识方法
摘要 元件搬运装置(310)包括:吸附头(320),系吸附保持IC元件;真空压力感测器(330),系检测吸附头(320)有无吸附IC元件;致动器(318a),系使吸附头(320)移动;以及控制装置(340),系控制吸附头(320)的移动动作;控制装置(340)根据真空压力感测器(330)的检测结果控制致动器(318a),而致动器(318a)使吸附头(320)移动,或者将开始移动位置(A)和移动后之吸附头(320)的位置之间的距离设定为最佳距离。
申请公布号 TW200908194 申请公布日期 2009.02.16
申请号 TW097113468 申请日期 2008.04.14
申请人 阿德潘铁斯特股份有限公司 发明人 伊藤明彦;须田明 AKIHISA SUDA
分类号 H01L21/677(2006.01);H01L21/66(2006.01) 主分类号 H01L21/677(2006.01)
代理机构 代理人 洪澄文
主权项
地址 日本