发明名称 PROCEDE DE TRANSFERT A BASSE TEMPERATURE A PARTIR D'UNE COUCHE DE MOLECULES AUTO-ASSEMBLEES
摘要 L'invention concerne un procédé de traitement et/ou de transfert d'au moins une partie d'un substrat initial, ce procédé comportant:- a) l'assemblage d'au moins un substrat initial, et d'un premier support (6) à l'aide d'une couche (4) de molécules auto-assemblées,- b) un traitement dudit substrat initial, et/ou un report d'au moins une partie de ce substrat initial (2) sur un second support (10),- c) une évacuation ou une élimination de ladite couche (4) de molécules auto-assemblées pour permettre le retrait du premier support (6).
申请公布号 FR2919959(A1) 申请公布日期 2009.02.13
申请号 FR20070056984 申请日期 2007.08.07
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE INDUSTRIEL ET COMMERCIAL 发明人 BORDEL DAMIEN;DI CIOCCO LEA;KOSTRZEWA MAREK
分类号 H01L21/20;B81C1/00;H01L51/00 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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