发明名称 |
一种单层光学薄膜光学常数和厚度的检测方法 |
摘要 |
一种单层光学薄膜光学常数和厚度的检测方法,涉及一种光学薄膜参数的检测方法。提供仅通过一次计算,即可快速检测的一种单层光学薄膜光学常数和厚度的检测方法。测量透射光谱:利用分光光度计,测量正入射情况下单层光学薄膜的不扣除基底的透射光谱;选取透射率数据:在测量透射光谱上选取透射率数据代入评价函数;反演求解:采用改进模拟退火算法对评价函数进行反演求解;分析结果:通过恢复透射光谱,对算法返回结果进行分析。算法全局性能更优,返回解数量级更小,且回火退火帮助返回多组解,全面了解评价函数情况;可与分光光度计测量软件相结合,直接读取透射率数据进行反演求解,拓宽分光光度计的应用范围,具有潜在商业价值。 |
申请公布号 |
CN101363768A |
申请公布日期 |
2009.02.11 |
申请号 |
CN200810071894.8 |
申请日期 |
2008.09.28 |
申请人 |
厦门大学 |
发明人 |
周建华;蔡国雄;祁放;游佰强;李伟文 |
分类号 |
G01M11/02(2006.01);G01B11/06(2006.01);G01N21/17(2006.01) |
主分类号 |
G01M11/02(2006.01) |
代理机构 |
厦门南强之路专利事务所 |
代理人 |
马应森 |
主权项 |
1.一种单层光学薄膜光学常数和厚度的检测方法,其特征在于包括以下步骤:1)测量透射光谱:利用分光光度计,测量正入射情况下单层光学薄膜的不扣除基底的透射光谱;2)选取透射率数据:在测量透射光谱上选取透射率数据代入评价函数;3)反演求解:采用改进模拟退火算法对评价函数进行反演求解;4)分析结果:通过恢复透射光谱,对算法返回结果进行分析。 |
地址 |
361005福建省厦门市思明南路422号 |