| 发明名称 |
Prüfung von integrierten Schaltungen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60318795(T2) |
申请公布日期 |
2009.02.05 |
| 申请号 |
DE20036018795T |
申请日期 |
2003.09.24 |
| 申请人 |
AGILENT TECHNOLOGIES INC. |
发明人 |
STIRRAT, SUSAN;WU, KANG |
| 分类号 |
G01R31/28;G01R31/317;G01R31/3183;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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