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Die Erfindung stellt eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Lokalisierung von Inhomogenitäten in einer Probe zur Verfügung. Das Messprinzip beruht darauf, dass ein elektrisches Feld in die Probe eingebracht und die mechanische Antwort, insbesondere die elektrostriktive Antwort, der Probe auf dieses Feld gemessen wird. Inhomogenitäten in der Probe schwächen lokal das elektrische Feld und erniedrigen so dessen Symmetrie. Hierdurch werden die Beiträge einzelner Bereiche der Probe zur an einem gegebenen Messort gemessenen mechanischen Antwort in einer Weise geändert, die am Messort registriert werden kann. Das Messprinzip kann nicht nur in Form eines Rastersondenverfahrens und Rastersondenmikroskops verwirklicht werden, sondern auch im Rahmen der Online-Überwachung bruchgefährdeter technischer Bauteile.
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