环氧树脂组合物及其固化物

摘要

本发明涉及将特定的三芳基膦取代化合物用作固化促进剂的环氧树脂组合物、该环氧树脂组合物的固化物及使用该环氧树脂组合物形成的半导体装置。

主权项

1.一种环氧树脂组合物，其特征在于，含有：(A)2个以上官能团的环氧化合物或2个以上官能团的环氧树脂、(B)固化剂，它使用2个以上官能团的酚化合物或2个以上官能团的酚醛树脂的羟基被100％酰化的含酯基的化合物或含酯基的树脂、和(C)固化促进剂，全部的(C)固化促进剂中的30～100重量％为以式(1)表示的膦化合物，式(1)中，X¹～X⁹和Y¹～Y⁶各自独立，分别是氢原子、碳原子数1～10的脂肪族或脂环族烃基、碳原子数6～10的芳香族烃基、碳原子数1～10的烷氧基或碳原子数6～10的芳氧基，而X¹～X⁹中至少3个为碳原子数1～10的烷氧基，所述(A)环氧树脂必须在环氧树脂成份中含有20～100重量％的下述任一种：由通式(III)表示的二羟基萘得到的环氧树脂，式(IⅡ)中，2，3-环氧丙基的取代位置为1，5位、1，6位、1，7位、2，6位、或2，7位；由通式(IV)表示的双酚类得到的环氧树脂，式(IV)中，L²表示氢原子或甲基，完全相同或不同；由通式(V)表示的可熔酚醛树脂得到的环氧树脂，式(V)中，L³表示氢原子或甲基，重复单元数m分布在1～50的范围内，其平均在1～20的范围内；由通式(VI)表示的苯酚芳烷树脂得到的环氧树脂，或(VI)中，L⁴表示氢原子或甲基，重复单元数m分布在1～50的范围内，其平均在1～20的范围内；或由通式(VII)表示的酚-二环戊二烯树脂得到的环氧树脂，式(VII)中，L⁵表示氢原子或甲基，重复单元数m分布在1～50的范围内，其平均在1～20的范围内，所述(B)固化剂成份的20～100重量％为：由通式(VIII)表示的可熔酚醛树脂衍生的含酯基化合物或含酯基树脂，式(VIII)中，L⁶表示氢原子，碳原子数1～6的直链、支链或环状的烷基、芳基、烷氧基，A表示氢原子或碳原子数2～10的芳香族和/或脂肪族酰基，氢原子/酰基的摩尔比为90/10～0/100的范围，重复单元数m分布在1～50的范围内，其平均在1～20的范围内；由通式(IX)的苯酚芳烷树脂衍生的含酯基化合物或含酯基树脂，式(IX)中，L⁷表示氢原子，碳原子数1～6的直链、支链或环状的烷基、芳基、烷氧基，A表示氢原子或碳原子数2～10的芳香族和/或脂肪族酰基，氢原子/酰基的摩尔比为90/10～0/100的范围，重复单元数m分布在1～50的范围内，其平均在1～20的范围内；或，由通式(X)的酚-双环戊二烯树脂衍生的含酯基化合物或含酯基树脂，式(X)中，L⁸表示氢原子、碳原子数1～6的直链、支链或环状的烷基、芳基、烷氧基，A表示氢原子或碳原子数2～10的芳香族和/或脂肪族酰基，氢原子/酰基的摩尔比为90/10～0/100的范围，重复单元数m分布在1～50的范围内，其平均在1～20的范围内。