基于SOI基板的二维光学可动平台装置及其制造方法

摘要

本发明公开一种微机电系统技术领域的基于SOI基板的二维光学可动平台装置及其制造方法。装置包括4个固定极板、4个可动极板、光学平台、锚点、微悬臂梁。每一个固定极板和每一个可动极板共同组成一个静电式梳状驱动器。装置的上下左右对称分布四个等同的静电式梳状驱动器。静电式梳状驱动器通过微悬臂梁上连接光学平台，微悬臂梁连接到四个锚点上。方法为：利用UV光刻与显影技术将设计好装置结构图案迁移在SOI晶片表面；用深度反应离子刻蚀方法刻蚀SOI基板至SiO₂层；用去除溶液去除表面的光刻胶；利用HF蒸汽刻蚀工艺来刻蚀SiO₂层，释放出可移动部分；干燥。本发明增大驱动器的总电容和驱动能力，并降低所需的驱动电压。

主权项

1.一种基于SOI基板的二维光学可动平台装置，其特征在于：包括4个固定极板、4个可动极板、中央光学平台、锚点、微悬臂梁，其中每一个固定极板和每一个可动极板共同组成一个静电式梳状驱动器，在装置的上下左右四个方向上对称分布四个等同的静电式梳状驱动器，四个等同的静电式梳状驱动器分别通过微悬臂梁上连接中央光学平台，微悬臂梁分别连接到四个锚点上，锚点固定、支撑整个平台装置。