一种配气装置

摘要

本发明涉及一种配气装置，由原料气管路、稀释气管路、针阀、精密压力表、毛细管柱、填充柱、气体混合器组成，原料气管路由原料进气口、针阀、精密压力表和毛细管柱串联组成，稀释气管路由稀释气进口、针阀、精密压力表、填充柱串联组成，两路气体进入稀释三通汇合，然后进入气体混合器，完成一级稀释；如需二级稀释，即将一级稀释管路通过三通依次串联针阀、精密压力表、毛细管柱，构成新的原料气管路；由稀释气入口经过三通依次串联针阀、精密压力表、填充柱，构成新的稀释气管路，两路气体分别连接稀释三通，构成二级稀释管路；依次类推，使本发明形成稀释气对原料气的一级、两级乃至多级稀释，从而达到稀释、配制所需浓度原料气的目的。

主权项

1、一种配气装置，由原料气管路、稀释气管路、针阀、精密压力表、毛细管柱、填充柱、二通、三通和气体混合器组成，其特征在于；一级原料气管路依次由原料气进气口(31)、第一针阀(1)、接有第一精密压力表(6)的第三三通(12)、第一零死体积二通(16)和第一毛细管柱(25)串联组成，一级稀释气管路依次由稀释气体进气口(32)、第一三通(10)、第二针阀(2)、接有第二精密压力表(7)的第四三通(13)、第一填充柱(27)、第一变径二通(18)串联组成，一级原料气管路的第一毛细管柱(25)和一级稀释气管路的第一变径二通(18)分别连接第一稀释三通(23)，第一稀释三通(23)依次连接第三变径二通(20)、第一气体混合器(29)、第二三通(11)、第四针阀(4)、第一出口螺帽(33)，从而形成对原料气一级稀释的管路；第二三通(11)依次串联第五针阀(5)、接有第四精密压力表(9)的第六三通(15)、第二零死体积二通(17)、第二毛细管柱(26)，构成二级原料气管路；由第一三通(10)串联第三针阀(3)、接有第三精密压力表(8)的第五三通(14)、第二填充柱(28)、第二变径二通(19)，构成二级稀释气管路，二级原料气管路的第二毛细管柱(26)和二级稀释气管路的第二变径二通(19)分别连接第二稀释三通(24)，第二稀释三通(24)依次连接第四变径二通(21)、第二气体混合器(30)、第一二通(22)、第二出口螺帽(34)，从而形成对原料气二级稀释的管路。