一种静电吸盘边缘平整度的检测方法

摘要

本发明提供了一种静电吸盘边缘平整度的检测方法。现有技术中无合适的检测方法来检测静电吸盘边缘的平整度，致使设置在其上进行曝光的晶圆出现边缘器件不良的现象。本发明的静电吸盘边缘平整度的检测方法先提供一具有多个特定图形的光罩，且将其设置在该扫描曝光机台中；再提供一平整且大小与该静电吸盘相当的检测晶圆，并将其放置在静电吸盘上；然后使用该光罩对该检测晶圆进行扫描曝光；接着测量检测晶圆边缘及中心区域的该特定图形的特征尺寸；最后依据检测晶圆边缘及中心区域的特定图形的特征尺寸判断该静电吸盘的边缘的平整状况。本发明的检测方法可准确快速的检测出静电吸盘边缘是否平整，从而避免了静电吸盘边缘不平整所造成器件不良。

主权项

1、一种静电吸盘边缘平整度的检测方法，该静电吸盘设置在扫描曝光机台中，其特征在于，该方法包括以下步骤：(1)提供一具有多个特定图形的光罩，且将其设置在该扫描曝光机台中；(2)提供一平整且大小与该静电吸盘相当的检测晶圆，并将其放置在静电吸盘上；(3)使用该光罩对该检测晶圆进行扫描曝光；(4)测量检测晶圆边缘及中心区域的该特定图形的特征尺寸；(5)依据检测晶圆边缘及中心区域的特定图形的特征尺寸判断该静电吸盘的边缘的平整状况。