发明名称 APPARATUS FOR IRRADIATING ULTRAVIOLET RAY
摘要
申请公布号 KR100880702(B1) 申请公布日期 2009.02.02
申请号 KR20040110576 申请日期 2004.12.22
申请人 发明人
分类号 G03F7/20;G21K5/00;A61C13/15;A61L2/10;A61N5/06;H01L21/00;H01L21/56;H01L33/00;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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