于电浆制程中用以改善处理均匀度之装置及方法

摘要

本发明系关于在电浆制程中用以改善处理均匀度之装置及方法。在电浆处理期间围绕工件之一外周边边缘延伸之牺牲体系由一电浆可移除材料组成。该牺牲体可包含经布置以界定一圆形几何形状之多个区段。该牺牲体系用于增加工件之有效外径，其操作以藉由有效地减小工件之外周边边缘附近之蚀刻速率来减轻电浆处理所固有之有害边缘效应。