| 摘要 |
[课题]本发明提供一种可有效且确实地将半导体排气进行分解而予以无害化之维修性佳的半导体排气处理装置。[解决手段]本发明之半导体排气处理装置的特征系具备反应炉14，其构成为包含：筒状反应炉本体30，在由耐火材料所包围的内部设置将半导体排气X予以热分解的排气处理室38，并且在底部彼此接近的位置开设气体导入口40与气体排出口42；电热加热器32，用以将排气处理室38加热；以及气体导入管34，将其上端配设在排气处理室38的上部，并且以使其下端朝反应炉本体30的外部突出的方式插入气体导入口40，而将半导体排气X导入排气处理室38之上部。 |
