于基材上形成钌基膜的方法

摘要

一种用于在半导体制程中于基材上形成膜之方法。提供反应腔室及腔室中之基材。提供包括溶解于至少两种不可燃氟化溶剂之混合物中的四氧化钌之钌基前驱体，且在基材上产生含钌膜。