| 发明名称 |
Improvements in or relating to processes for the manufacture of semi-conductor devices |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB944116(A) |
申请公布日期 |
1963.12.11 |
| 申请号 |
GB19620019005 |
申请日期 |
1962.05.17 |
| 申请人 |
SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/18;H01L21/24;H01L29/06 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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