Vorrichtung und Verfahren zur Verbesserung der Messgenauigkeit in einem optischen CD-Messsystem

摘要

Es ist ein Verfahren und eine Vorrichtung offenbart, womit eine Verbesserung der Messgnauigkeit bei der Bestimmung von Strukturdaten ermöglicht ist. Es ist eine Vorrichtung mit einem in X-Koordinatenrichtung und Y-Koordinatenrichtung verfahrbaren Auflagetisch (4) vorgesehen, auf dem ein zusätzlicher Halter (6) zur Halterung eines Substrats (2) getragen ist, mit mindestens einer Lichtquelle (16; 20), mindestens einem Objektiv (8) und einer ersten Detektoreinheit (15a), die das von auf dem Substrat (2) aufgebrachten Strukturen reflektierte oder transmittierte Licht empfängt. Weiterhin ist eine der Lichtquelle (16; 20) zugeordnet und/oder in einem Abbildungsstrahlengang (10; 12) befindliche Polarisationseinrichtung (30a; 30b) vorgesehen.