发明名称 MIKROBOLOMETER UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE60224880(T2) 申请公布日期 2009.01.22
申请号 DE20026024880T 申请日期 2002.06.18
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 VILAIN, MICHEL
分类号 G01J5/02;G01J5/40;G01J5/20 主分类号 G01J5/02
代理机构 代理人
主权项
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