| 发明名称 |
ELEKTROSTATISCHER SCHEIBENHALTER MIT PORÖSEN BEREICHEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60136940(D1) |
申请公布日期 |
2009.01.22 |
| 申请号 |
DE20016036940 |
申请日期 |
2001.08.01 |
| 申请人 |
SAINT-GOBAIN CERAMICS & PLASTICS INC. |
发明人 |
DIVAKAR, RAMESH |
| 分类号 |
C04B38/00;H01L21/68;C23C16/458;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/683 |
主分类号 |
C04B38/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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