发明名称 |
半导体器件 |
摘要 |
本发明涉及一种半导体器件。常规半导体器件中产生了造成本增加的问题。半导体器件1包括:配置在半导体衬底101上的下电极102(第一电极);绝缘膜105(电容性膜),配置在下电极102上从而与下电极102接触;上电极103(第二电极),配置在绝缘膜105上从而与绝缘膜105接触;开口部分121(第一开口部分),配置在下电极102中并延伸穿过下电极102;以及开口部分122(第二开口部分),配置在上电极103中并延伸穿过上电极103。绝缘膜123埋置在开口部分121中,所述开口部分配置在下电极102中。类似地,绝缘膜124埋置在开口部分122中,所述开口部分122配置在上电极103中。 |
申请公布号 |
CN100454541C |
申请公布日期 |
2009.01.21 |
申请号 |
CN200710004789.8 |
申请日期 |
2007.01.30 |
申请人 |
恩益禧电子股份有限公司 |
发明人 |
吉永亲史 |
分类号 |
H01L27/02(2006.01);H01L27/06(2006.01);H01L27/08(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/02(2006.01) |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
关兆辉;陆锦华 |
主权项 |
1.一种半导体器件,包括:配置在半导体衬底上的第一电极;电容性膜,配置在所述第一电极上从而与第一电极接触;第二电极,配置在所述电容性膜上从而与电容性膜接触,所述第二电极、所述第一电极和所述电容性膜构成了电容元件;第一开口部分,配置在所述第一电极中并延伸穿过第一电极;以及第二开口部分,配置在所述第二电极中并延伸穿过第二电极,其中绝缘膜埋置在所述第一开口部分和所述第二开口部分内。 |
地址 |
日本神奈川 |