具有五层保温条的多晶硅铸锭炉的热场结构

摘要

本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉内的设备，特别是一种具有五层保温条的多晶硅铸锭炉的热场结构，包括保温隔热笼体、保温隔热笼体内安装在侧面和顶面的加热器、放置坩埚的石墨冷却块以及设置在保温隔热笼体内腔四周的保温带，在保温隔热笼体的内腔四周设置的保温带的高h为385－395mm，宽b为405－415mm，保温带由五层保温条组成。通过试验，和原来保温隔热笼体内设置上下层叠的三层保温条相比，它的晶体的成长的固液界面呈现为凸型，周围的晶体的成长速度慢于中间的结晶，在有效区域中的微晶含量降低，使得生产出来的晶锭中的微晶量下降。

主权项

1、一种具有五层保温条的多晶硅铸锭炉的热场结构，包括保温隔热笼体(1)、保温隔热笼体(1)内安装在侧面和顶面的加热器(2)、放置坩埚的石墨冷却块(3)以及设置在保温隔热笼体(1)内腔四周的保温带，其特征是：在所述的保温隔热笼体(1)的内腔四周设置的保温带的高h为385-395mm，宽b为405-415mm。