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发明名称
摘要
申请公布号
JP4212774(B2)
申请公布日期
2009.01.21
申请号
JP20000586979
申请日期
1999.12.06
申请人
发明人
分类号
C23C16/18;H01L21/205;C23C16/40;C23C16/448;C23C16/56;H01L21/314;H01L21/316
主分类号
C23C16/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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