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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR SHAPING THIN FILMS IN THE NEAR-EDGE REGIONS OF IN-PROCESS SEMICONDUCTOR SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1500129(A4) 申请公布日期 2009.01.21
申请号 EP20030721837 申请日期 2003.04.24
申请人 ACCRETECH USA, INC. 发明人 ROBBINS, MICHAEL, D.
分类号 H01L21/3065;H01L21/00;H01L21/31;H01L21/311;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/461 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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