发明名称 沉积碳纳米管薄膜的设备
摘要 本发明涉及一种沉积碳纳米管薄膜的设备,其包括一支撑装置,多个卡扣在支撑装置上的喷射装置及多个分别与喷射装置相连通的输送管。所述支撑装置包括一第一支撑件、一第二支撑件及一扣紧装置。所述沉积碳纳米管的装置具有可同时大面积成膜,成膜快速,成本低廉的优点。
申请公布号 CN100453188C 申请公布日期 2009.01.21
申请号 CN200510100356.3 申请日期 2005.10.14
申请人 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 发明人 林孟东
分类号 B05C5/02(2006.01);B05C13/00(2006.01);B05B15/00(2006.01);B05D3/10(2006.01);C23F17/00(2006.01) 主分类号 B05C5/02(2006.01)
代理机构 代理人
主权项 1.一种沉积碳纳米管薄膜的设备,其特征在于其包括一支撑装置、多个卡扣在所述支撑装置上的喷射装置及多个分别与所述喷射装置相连的输送管,所述支撑装置包括一第一支撑件、一第二支撑件及一扣紧装置,所述扣紧装置用于扣紧所述第一支撑件及所述第二支撑件。
地址 518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号