具有多重蚀刻结构之太阳能电池晶片及其制造方法

摘要

一种具有多重蚀刻结构之太阳能电池晶片及其制造方法，系在第一掺杂型半导体基底上，使用等向性蚀刻溶液来蚀刻，使其表面上可形成多数个微形山脉之蚀刻结构，之后，再使用非等向性蚀刻溶液来蚀刻，使第一掺杂型半导体基底表面之微形山脉上，可形成多数个突起微粒。之后，进行掺杂制程，以在第一掺杂型半导体基底上，形成一第二掺杂型半导体层，再形成分别连接第一掺杂型半导体基底与第二掺杂型半导体层之多个电力输出电极。因此，此太阳能电池晶片可藉由其多重蚀刻结构，来降低其光反射率，进而提升其光电转换效率。