感放射线性树脂组成物、层间绝缘膜与微透镜、及其制造方法

摘要

本发明系关于含有：[A](a1)具有羧基之特定不饱和化合物，(a2)具有脂环式环氧基骨架之特定不饱和化合物，以及(a3)上述(a1)及(a2)以外之特定不饱和化合物的共聚物，以及[B]1,2-　二叠氮基化合物的感放射线性树脂组成物。上述感放射线性树脂组成物，具有高度感放射线感度，且具有在显影步骤中即使超过最适显影时间，于进行显影处理时，尚可形成良好图型形状的显影界限(margin)，且易形成与基板密接性优异的图型状薄膜，特别适合使用于层间绝缘膜或微透镜的形成。