| 摘要 |
本发明系关于一种装置，其用于制造结构及将材料自尖端沈积至表面以供以直接写入模式图案化，其提供行进宏观距离且仍提供奈米尺度图案化之能力。该装置可使用在小尺度制造及奈米微影中。仪器可为小型的且用于一实验台或桌面上。一种装置包含：至少一多轴总成，其包含复数个奈米定位级；至少一笔总成，其中该笔总成及该多轴总成经调适用于将材料自该笔总成递送至一由该多轴总成定位之基板；至少一检视总成；至少一控制器。由压电方法及设备及马达进行之奈米定位尤其有用。该装置可包括整合之周围腔室及外壳，以及用于待递送材料之油墨储集器。该检视总成可为一具有一长工作距离之显微镜。该装置对于制造生物阵列或微阵列尤其有用。该多轴总成可为一五轴总成。 |
