| 摘要 |
本发明系提供一种研磨装置，具备：载置部(14)，系载置收容有复数个研磨对象物之匣盒(12)；第1研磨线(20)及第2研磨线(30)，系研磨研磨对象物；洗净线(40)，系具有洗净研磨后之研磨对象物的洗净机(42a,42b,42c)以及搬运研磨对象物的搬运单元(44)；搬运机构(50)，系在载置部(14)、研磨线(20,30)、以及洗净线(40)间搬运研磨对象物；以及控制部，系控制研磨线(20,30)、洗净线(40)、以及搬运机构(50)。控制部系根据第1以及第2研磨线(20,30)之预测研磨时间、搬运机构(50)之预测搬运时间、洗净线(40)之预测洗净时间、以及驱动上述洗净线(40)之上述搬运单元(44)而开始洗净的洗净开始预测时刻，来决定第1或第2研磨线(20,30)之研磨开始时刻。 |
