载置台及使用彼之电浆处理装置

摘要

本发明的课题是在于提供一种可减低溶射皮膜的修理频度之载置台及使用如此的载置台之电浆处理装置。其解决手段为一种在对基板G施以电浆处理的处理腔室内载置基板之载置台3，其特征系具备：基材5、及形成于基材之上，在其上载置基板的载置部6，且载置部6具有：构成角部6a的陶瓷构件43、及陶瓷溶射皮膜41。