控制基材边缘排除区之尺寸的方法与设备

摘要

某些实施例中，提供控制基材之边缘排除区宽度的方法。方法包括确定旋转研磨头之角度范围；在确定之角度范围内旋转研磨头以达到基材之边缘排除区的预设宽度；及以研磨头研磨基材之边缘。亦提供许多其他态样。