METHOD AND DEVICE FOR THE OPTICAL INSPECTION OF A SURFACE OF AN OBJECT

摘要

Zum optischen Inspizieren einer Oberfläche (17) an einem Gegenstand (16) wird ein Muster (26, 28) mit einer Anzahl von helleren (30, 32) und dunkleren (31, 33) Streifen bereitgestellt, die einen sich zumindest weitgehend kontinuierlich ändernden Helligkeitsverlauf (34) mit einer definierten Periode (36) bilden. Der Gegenstand (16) wird an einer ersten Position relativ zu dem Streifenmuster (26, 28) so positioniert, dass der Helligkeitsverlauf (34) auf die Oberfläche (17) fällt. Mit Hilfe einer Bildaufnahmeeinheit (42), die an einer ersten Position angeordnet ist, wird ein erstes Abbild von der Oberfläche (17) einschließlich des darauf fallenden Helligkeitsverlaufs (34) aufgenommen. Anschließend wird der Helligkeitsverlauf (34) relativ zu der Oberfläche (17) verschoben, und es wird zumindest ein weiteres Abbild von der Oberfläche (17) aufgenommen. In Abhängigkeit von den Abbildern werden Eigenschaften der Oberfläche (17) bestimmt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird der Helligkeitsverlauf (34) räumlich stationär gehalten und der Gegenstand (16) mit der Oberfläche (17) wird verschoben. Außerdem wird das zumindest eine weitere Abbild mit einer Bildaufnahmeeinheit (44, 46, 48) aufgenommen, die an einer zweiten Position angeordnet ist. Die erste und die zweite Position liegen in einem definierten Abstand zueinander, der gleich der definierten Distanz ist.